系統概述
沸石濃縮轉輪模廠測試設備為處理無塵室製程區環境循環大氣所含之低濃度揮發性有機物的污染防制設施，系統主要包括
- 利用疏水性沸石濃縮轉輪吸附及濃縮揮發性有機物氣體
- 透過多種型式的加熱設施，脫附濃縮的揮發性有機物氣體
- 模廠測試設備處理風量為25CMM
操作原理
- 揮發性有機氣體通過疏水性沸石濃縮轉輪後，能有效被吸附於沸石中，達到去除之目的
- 經過沸石吸附揮發性有機物之潔淨氣體，直接排入循環大氣或HVAC
- 轉輪待機以每小時1~6轉的速度旋轉，同時將吸附之揮發性有機粅傳送至脫附區
- 於脫附區中利用一小段加熱氣體將揮發性有機物進行脫附
- 脫附後之沸石轉輪旋轉至吸附區，持續吸附揮發性有機氣體
- 脫附後之濃縮有機廢氣送至後續處理設施，進行二次濃縮或燃燒轉換成水及二氧化碳排至大氣中
- 新設製程污染防治設備處理效率評估或測試及操作參數最佳化調整