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リサイクル設備

製品紹介

  • 台湾発のホイルシステムを半導体業界に提供、実績経験操作豊富かつシングルホイル/ダブルホイルを合せた実績あるシステム統合力。
  • 半導体設備規格(SEMI-S2)唯一通過したホイル提供メーカ。またISO9001&14001, OHSAS18001を獲得している。
  • 優秀な開発団体により焼却炉及び省エネ設備を設計し特許を獲得している。
  • モジュール化設計
  • 内部システム前温度テスト
  • ホイル濃縮比は20:1、焼却炉焼却比は 8:1に達している。
  • 弊社の優秀なチームサービスによて提供される安全評価(例.気体濃度低下爆破アンダーライン)、機能計算書、システム又はプロセス排気、静圧バランス、設備結構耐震(0.5G)、操作費用、の計算等を提供。
  • 三段式安全モジュールを採用、ホイル高温防止システム(N2)、FM認証消防スプリングノズル及び焼却炉断風門。
  • 焼却炉システムには6個の安全連鎖コントロールを用いて、圧力、燃料、焼却炉、アシスト加熱風車、燃焼機器、を監視している。
  • 排気中に含む高沸点有機物質はホイルの300℃高温脱着及水洗功能によって撤去(特許型気密マット)お客様の需要に応じて設計。
  • システムは自動化制御を用いて、ワンタッチスタート、操作簡単、またタッチパネルを使用した上でのパラメータ設定等も可能としている。
  • システムを立上に関し弊社は設備のデバック、設備統合能力、設備のアフタサービス、設備使用時の教育等も提供。